7月26日,由晨曦特气公司设计并提供冷箱、催化剂等核心设备的年产3万吨,纯度达99.99999%(7N)的电子级二氧化碳项目,冷箱设备完成就位,项目最终客户位于海外,产品满足台某电的芯片先进制程的清洗需求。

电子级二氧化碳是AI存储、先进制程芯片不可替代的刚需电子特气,随着存储芯片向高宽带及存算一体架构方向的发展,存储芯片从传统的二维结构向三维结构拓展,芯片微观结构向高沟壑比方向发展,原先的异丙醇清洗工艺已经逐步被更加先进的CO2清洗工艺所取代,从而带来电子级二氧化碳的需求爆发,行业需求增长由HBM(AI储存芯片)、3D NAND、Micro-LED三大高景气赛道持续驱动。
本项目以炼化企业产生的CO2尾气为原料,通过压缩、脱硫、脱氯、脱烃、干燥和多塔精馏的方式生产电子级CO2,产品纯度为99.99999%(7N)具体规格见下表,各类金属离子含量达1ppb以下,满足存储芯片等半导体行业对电子级CO2的品质要求。
检 验 项 目 | 指 标 |
氢(H2)含量/10-9 | ≤10 |
氩(Ar)含量/10-9 | ≤10 |
氧(O2)含量/10-9 | ≤10 |
氮(N2)含量/10-9 | ≤10 |
THC(as CH4)含量/10-9 | ≤10 |
水分(H20)含量/10-9 | ≤20 |
一氧化碳(CO)含量/10-9 | ≤10 |
总硫/10-9 | ≤10 |
总颗粒数 | <20 pcs/ft3 |
> 0.5μm颗粒 | <1 pcs/ft 3 |
本项目预计将于26年底完成安装并进入联动试车。