高纯氧化亚氮主要用于麻醉剂,制冷剂,助燃剂,子吸收光谱用气,半导体制造用平衡气、氧化、化学气相淀积;例如:在IC和LED芯片的制作过程中,笑气是积淀SiO2膜,掩蔽膜、钝化膜、器件抗反射增透膜的重要原料;在平板显示领域,高纯笑气用于TFT-LED(薄膜晶体管)和 OLED(有机发光二极管)的制作,是电子特气中用量排名第五的电子工业用气体。
装置以硝酸铵裂解或石油化工尾气为原料,依次通过压缩、碱洗、固体碱吸附、净化和精馏的方法将笑气浓度提纯到6N以上,单一金属离子含量≤1ppb或更低,满足存储芯片等半导体行业对电子级N2O的品质要求。
电子级笑气项目业:
(循环压缩机)
(精馏系统)
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