电子级超纯氨技术简介

超纯度氨产品是机金属化学气相沉积（MOCVD）技术生产第三代复合半导体材料氮化镓（GaN）的重要支撑材料。它广泛应用于半导体照明、平板显示器、太阳能电池和大型集成电路的制造。高纯度氨的质量直接影响材料的光学和电学性能，影响设备的使用寿命。

本装置以工业氨为原料，利用多塔精馏生产电子级高纯氨，产品规格满足光伏、半导体工业的使用需求。

        四川某电子级超纯氨项目业绩

（工业氨预处理装置）

（超纯氨精馏系统）

（尾气回收装置）

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