电子级一氧化碳主要利用其较强的还原性，可以和氧气生成二氧化碳和热量，在MOSFET的制备过程中，一氧化碳可以还原材料表面的氧化层，提高材料的电子迁移率和表面平整度，从而减少界面缺陷。
本装置以甲酸裂解或煤化工尾气为原料，通过脱碳、净化、干燥和双塔精馏工艺实现电子级一氧化碳的制备，该项技术已先后在河南、江西等地获得应用。主要工艺简图如下：
项目业绩：
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（电子级一氧化碳精馏装置局部图）
（电子级一氧化碳循环压缩机）
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