晨曦特气公司（技术联系人：陈15021738070）开发的高纯六氟化钨成套技术以钨粉和三氟化氮为原料，工艺流程简介如下：三氟化氮与钨粉高温下反应得到粗品六氟化钨，六氟化钨经过滤钨粉后进入冷阱收集罐脱除大部分氮气后气化进入吸附塔，气体经吸附后脱除氟化氢杂质，然后进入两级精馏塔，在脱轻塔中脱除挥发性比六氟化钨大的氮、氧、一氧化碳等杂质；在脱重塔中脱除重组分杂质如痕量水分、金属离子等，塔顶收集电子级六氟化钨产品，现有业绩产品纯度达5N（99.999%）。

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