电子级二氧化碳作为二氧化碳领域的高端产品，产品纯度可达7N，应用于半导体制造中氧化、扩散，化学气相淀积，超临界清洗气体等领域。项目采用脱硫、脱烃、脱氯、深度干燥和多塔精馏工艺，产品已成功导入台积电、中芯国际等全球一流芯片生产企业。

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