电子级二氧化碳作为二氧化碳领域的高端产品，产品纯度可达7N，应用于半导体制造中氧化、扩散，化学气相淀积，超临界清洗气体等领域。冷箱是实现产品纯度的关键设备。

晨曦特气公司（技术联系人：陈15021738070）开发出以各类硫化氢尾气(如低温甲醇洗装置排放的酸性气)为原料，通过压缩、冷却、多级精馏成功实现99.99%纯度以上的硫化氢的量产。项目已在山东滨州等地成功实现产业化。

项目以甲酸裂解或煤化工尾气为原料，通过脱碳、净化、干燥和双塔精馏工艺实现电子级一氧化碳的制备，产品已成功导入半导体客户，用于深度净化的冷箱是实现高纯品质的核心设备。

装置以硝酸铵裂解或石油化工尾气为原料，依次通过脱碳、压缩、固体碱吸附、干燥和精馏将笑气浓度提纯到6N以上，单一金属离子含量≤1ppb或更低，产品品质满足半导体行业所需。

高纯度氨产品是机金属化学气相沉积（MOCVD）的重要支撑材料，广泛应用于半导体照明、平板显示器、太阳能电池的制造。本项目采用多塔精馏连续生产超高纯氨气，产品纯度达7N以上，金属离子含量100ppt以下。

项目采用双塔精馏工艺替代原有的催化氧化生产食品级二氧化碳工艺，相同产品品质条件下，单位产品能耗大幅下降，工艺流程大幅缩短，系二氧化碳行业革命性进步，冷箱是实现该工艺的核心设备。

三氟化氮与钨粉高温下反应得到粗品六氟化钨，六氟化钨经过滤钨粉后进入冷阱收集罐脱除大部分氮气后气化进入吸附塔，气体经吸附后脱除氟化氢杂质，然后进入两级精馏塔，在脱轻塔中脱除挥发性比六氟化钨大的氮、氧、一氧化碳等杂质；在脱重塔中脱除重组分杂质如痕量水分、金属离子等，塔顶收集电子级六氟化钨产品。

SF₆是化学性质极稳定、绝缘与灭弧性能极强的惰性特种气体，依靠绝缘强度为空气2.5倍、灭弧能力是空气100倍的特性，作为高压电气绝缘+灭弧介质，在各类变压器、开关器中应用广泛。