工艺采用吸附及多塔减压连续精馏工艺，作用为分离金属离子、四氯化硅、乙醇、乙醚、一甲氧基三乙氧基硅等组分杂质并除去各种金属杂质，得到电子级正硅酸甲（乙）酯（TMOS/TEOS）产品。

该工艺中吸附柱设置在精馏塔前段，初期即可除去部分金属离子（及部分难以采用精馏脱除的金属离子），确保产品质量达标。