高纯六氟化硫成套技术简介

        SF₆是化学性质极稳定、绝缘与灭弧性能极强的惰性特种气体，全球约 80% 产量用于电力行业，依靠绝缘强度为空气 2.5 倍、灭弧能力是空气 100 倍的特性，作为高压电气绝缘 + 灭弧介质，在各类变压器、开关器中应用广泛。

       在半导体中作为等离子刻蚀剂应用于芯片、MEMS、LCD/OLED 屏幕、光伏异质结电池深硅刻蚀，精准雕刻微米级电路沟槽。

        晨曦特气公司（技术联系人：陈15021738070）专注于电子材料和分工分离行业，公司独立开发的高纯六氟化硫成套技术以氟气和硫磺味原料，氟气在反应器内与硫磺直接发生反应生成六氟化硫粗品，粗品六氟化硫在后处理系统负压的引导下，粗SF6气体依次经过热解塔及除尘器，再经水洗、碱洗、吸附干燥、加压精馏等一系列除杂分离，得到纯度为99.999%以上高纯六氟化硫产品，项目已在内蒙古等地实现产业化，工艺流程简图如下：