电子级二氧化碳项目技术简介


电子级二氧化碳作为二氧化碳领域的高端产品,应用领域非常广泛,如用于激光切割机的激光气体、电子工业、反应堆气体冷却剂、医学的临界萃取、半导体制造中氧化、扩散,化学气相淀积,超临界清洗气体等领域。


本装置以为工业级/食品级液体CO2为原料,通过气化、脱硫、脱烃、干燥和多塔精馏的方式生产电子级CO2,产品纯度达5.5N~7N以上,各类金属离子含量达1pp以下或更低,满足存储芯片等半导体行业对电子级CO2的品质要求。


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江苏某电子级CO2项目:


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(视角一:江苏某电子级二氧化碳装置)


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(视角二:江苏某电子级二氧化碳装置)


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