电子级氨气的主要应用

    高纯氨可用于生产氮化镓（GaN）、氮化硅（Si3N4）等氮化物，氮化镓主要用于LED生产领域，氮化硅主要用于太阳能电池、集成电路、LCD制造领域。

一、电子级氨气在LED行业的应用

超纯氨应用在LED行业的外延片生产工艺中。LED产业链主要包括4个部分：LED外延片、LED 芯片制造、LED器件封装和产品应用，此外，还包括相关配套产业。 一般来说，外延属于LED产 业链的上游，芯片属于中游，封装和应用属于下游。上游属于资本、技术密集型的领域，而中游和下游的进入门槛则相对较低。

LED外延片主要采用MOCVD（金属有机化合物化学气相沉淀）技术生产，主要由蓝宝石等材料 做衬底。由于超纯氨气在用于外延片生长过程中，它与金属有机物的前驱物三甲基镓在高温下发生 化学反应生成氮化镓。其所用的超纯氨气纯度越高，其所制备的LED功耗将越小，发光强度将越 大，使用寿命越长。所以说7N超纯氨作为主要的N元素来源，是LED制造领域重要的上游关键配 套材料，是产业链发展中的重要一环。

二、氨气在光伏生产中的应用

1. 硅材料提纯：在光伏生产中，硅材料是太阳能电池板的核心组成部分。而氨气在硅材料提纯过程中发挥着重要作用。通过化学反应，氨气可以有效去除硅材料中的杂质，提高硅材料的纯度，进而提升太阳能电池板的光电转换效率。

2. 氮化物制备：氮化物是光伏产业中常用的材料之一，其性能优良、稳定性高。氨气作为氮源，在氮化物的制备过程中起着关键作用。通过精确控制反应条件，可以制备出符合要求的氮化物，进而应用于太阳能电池板的制造中。

3. 清洗环节：在光伏生产过程中，清洗是一个必不可少的环节。氨水作为清洗剂，可以去除生产过程中的油污、灰尘等杂质，保证光伏产品的质量和稳定性。

三、电子级氨气在LCD行业的主要应用

在TFT-LCD显示屏制造中，电子级氨气（NH3）是关键气体之一，主要用于以下几个方面：

‌1、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）‌：电子级氨气在PECVD过程中用于形成氮化硅层。它与硅烷（SiH4）结合使用，形成用于非晶硅（a-Si）晶体管的氮化硅层。

‌2、LTPS（低温多晶硅）晶体管‌：电子级氨气与氮气（N2）结合使用，形成用于LTPS晶体管的预准分子激光退火非晶硅（a-Si）。

‌3、MO（金属氧化物）晶体管‌：电子级氨气与氧化亚氮（N2O）结合使用，形成用于MO晶体管的氧化硅层‌。

四、结论

这些应用过程中，电子级氨气的纯度和稳定性对最终产品的质量有重要影响。因此，电子级氨气在生产过程中需要经过严格的纯化和处理，以确保其纯度达到5N、6N或7N等不同等级的要求。